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通知公告

山西大學低溫顯微鏡、原子層沉積設備（SDDY-20005）單一來源征求意見公示 來源： 作者：

山西大學就低溫顯微鏡、原子層沉積設備項目申請單一來源方式采購，該項目預算金額372萬元，擬成交供應商為太原能譜科技有限公司。

山西大學申請購置的低溫顯微鏡主要用于單量子體系量子相干動力學特性的實驗研究。該項目包括3.2K - 350K全干式標準樣品腔基礎系統，樣品空間：Φ53mm ×63mm；5個光學窗口，觸屏控制模式；室溫鏡頭集成套裝（包括特殊設計腔體、屏蔽罩、鏡頭加熱環、UPS等）；真空適用型100X蔡司鏡頭，NA0.9，工作距離1mm（包含鏡頭轉接環，準直系統）；閉環位移器套裝等。該款低溫顯微鏡集成了低溫恒溫器和顯微物鏡，擁有穩定的溫控和較低的振動，利用高數值孔徑低溫物鏡可以實現低溫高精度顯微成像，滿足實驗室科研教學過程中單量子體系降溫和高信噪比觀測的要求。

原子層沉積設備主要用于微納光學的實驗研究。該項目包括6路前驅源管路，其中5路前驅源管路都可以適應低蒸汽壓源、高蒸汽壓源、或氣體前驅源，1路配有前驅源助推裝置，8英寸樣品室，等離子源，一個模制、閉環、前驅體加熱套，14.6CFM泵以及包含操作系統的計算機。該設備可用于已經開展的微納材料加工過程中所必需的高質量樣品的表面鈍化防護納米級別鍍膜。不論什么特殊形狀、復雜的、高深寬比的器件，該設備均可在樣品表面鍍上均勻的高密度的薄膜，對于器件的鈍化防護起著至關重要的作用，該設備將是未來開展科研任務的核心設備，將承擔大量的科研教學任務，為實驗室發展及有關項目的實施提供必要的保障。

根據實驗要求，我們購買的實驗設備需要滿足的主要技術參數如下：

1、低溫顯微鏡，型號：Cryo-OPTIC S50 CO，參數：自動控溫：3.2K - 350K 樣品臺（無液氦），溫度穩定性：<10mK（峰-峰值），震動穩定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震動），降溫時間：300K – 4.2K ~3.5小時，樣品空間：Φ53mm ×63mm，熱沉數量：2個，光學窗口：5個光學窗口，鏡頭類型：Zeiss 100x數值孔徑： 0.9，工作距離：4mm; 1mm，電學通道：20個，接口面板：2個，可集成RF, DC, 光纖等，樣品移動：集成三維位移器，位置漂移：<1um/K（變溫過程中最大漂移率）<100nm (溫度不變時最大漂移范圍)。

2、原子層沉積設備，型號：Savannah S200，參數：設備可用于8寸及以下的平面樣品的薄膜生長，反應腔高度不高于8mm。反應腔采用雙區獨立加熱，分別用于加熱樣品和腔室壁。基片加熱溫度最高350℃，控溫精度±1℃。單片反應腔抽取真空速度須在1分鐘內達到510^-2Torr，充腔時間須在1分鐘內完成。配備6路前驅源管路，其中5路前驅源管路都可以適應低蒸汽壓源、高蒸汽壓源、或氣體前驅源，其中1路配有前驅源助推裝置。前驅源脈沖時間可精確控制到0.015s，以TMA為例，其脈沖時間可短到0.015s。從前驅源瓶到管路，腔室，尾氣管路，粉末阱等各部件，只要前驅源能達到的地方都有加熱功能，避免前驅源的冷壁吸附造成顆粒。

目前，能滿足上述技術要求的低溫顯微鏡只有美國Montana Instruments公司生產， Quantum Design中國子公司是美國Montana Instruments公司在亞洲及歐洲地區的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內唯一分銷商。能滿足上述技術要求的原子層沉積設備只有美國維易科（Veeco）儀器公司生產，香港電子器材有限公司是美國維易科（Veeco）儀器公司在亞太地區的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內唯一分銷商。因此，申請以單一來源方式采購。

單位會商和專家論證意見：經山西大學激光光譜研究所所領導、科研人員和采購小組調研，聘請校外專家進行詳細的論證，該設備的采購符合我國采購法關于單一來源采購的要求，申請此項目以單一來源方式采購。

現將以上情況進行公示，向潛在政府采購供應商征求意見，征求意見期限從2020年10月20日起至2020年10月27日止（五個工作日）。潛在政府采購供應商對公示內容有異議的，請在公示期內以實名書面（包括聯系人、地址、聯系電話）形式向采購單位或山西省財政廳政府采購管理處反饋，逾期不再受理。

供應商名稱：太原能譜科技有限公司

供應商地址：太原市塢城路43號辦公樓二層

供應商聯系人：李紫玲聯系電話：18535120512

采購單位：山西大學

地址:山西省太原市塢城路92號

項目聯系人：范卓華聯系電話：0351-7011255

郵編：030006

單一來源專家論證意見表

采購項目名稱		低溫顯微鏡、原子層沉積設備
項目清單	1	低溫顯微鏡，型號：Cryo-OPTIC S50 CO
項目清單	2	原子層沉積設備，型號：Savannah S200
論證專家基本情況	序號	姓名	職稱	工作單位
	1	降雨強	教授	中科院遺傳與生物發育研究所
	2	李傳亮	教授	太原科技大學
	3	薛晨陽	教授	中北大學
申請單一來源理由	根據實驗要求，我們購買的實驗設備需要滿足的主要技術參數如下： 1、低溫顯微鏡，型號：Cryo-OPTIC S50 CO，參數：自動控溫：3.2K - 350K 樣品臺（無液氦），溫度穩定性：<10mK（峰-峰值），震動穩定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震動），降溫時間：300K – 4.2K~3.5小時，樣品空間：Φ53mm ×63mm，熱沉數量：2個，光學窗口：5個光學窗口，鏡頭類型：Zeiss 100x，數值孔徑： 0.9，工作距離：4mm到 1mm，電學通道：20個，接口面板：2個，可集成RF, DC, 光纖等，樣品移動：集成三維位移器，位置漂移：<1um/K（變溫過程中最大漂移率）<100nm (溫度不變時最大漂移范圍)。 2、原子層沉積設備，型號：Savannah S200，參數：設備可用于8寸及以下的平面樣品的薄膜生長，反應腔高度不高于8mm。反應腔采用雙區獨立加熱，分別用于加熱樣品和腔室壁。基片加熱溫度最高350℃，控溫精度±1℃。單片反應腔抽取真空速度須在1分鐘內達到510^-2Torr，充腔時間須在1分鐘內完成。配備6路前驅源管路，其中5路前驅源管路都可以適應低蒸汽壓源、高蒸汽壓源、或氣體前驅源，其中1路配有前驅源助推裝置。前驅源脈沖時間可精確控制到0.015s，以TMA為例，其脈沖時間可短到0.015s。從前驅源瓶到管路，腔室，尾氣管路，粉末阱等各部件，只要前驅源能達到的地方都有加熱功能，避免前驅源的冷壁吸附造成顆粒。目前，能滿足上述技術要求的低溫顯微鏡只有美國Montana Instruments公司生產， Quantum Design中國子公司是美國Montana Instruments公司在亞洲及歐洲地區的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內唯一分銷商。能滿足上述技術要求的原子層沉積設備只有美國維易科（Veeco）儀器公司生產，香港電子器材有限公司是美國維易科（Veeco）儀器公司在亞太地區的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內唯一分銷商。因此，申請以單一來源方式采購。
專家論證意見	降雨強：此次山西大學擬購置的低溫顯微鏡用于低溫下單量子體系熒光探測需要良好的溫度穩定性、震動穩定性以及高信噪比的低溫顯微成像。低溫恒溫與顯微成像相結合的方案只有美國Montana Instruments公司可以提供，滿足實驗所需參數。擬購置的原子層沉積設備用于微納材料的加工，需要的是單腔熱壁設計的腔室，可以實現雙區獨立均勻加熱，保證腔室底部和腔室壁的溫度獨立可控，且保證腔室壁溫度和底部一致。只有Veeco公司的Savannah S200具有上述所有功能，建議以單一來源方式采購該兩臺設備。李傳亮：此次山西大學擬購置的低溫顯微鏡用于單量子體系量子相干動力學特性研究需要同時滿足低溫條件和高信噪比熒光探測。需要滿足的主要技術參數包括高的溫度穩定性和可調諧性、高震動穩定性、高熒光收集效率以及低溫樣品可移動。目前，滿足所列技術參數的系統只有美國Montana Instruments公司可以提供。此次山西大學擬購置的原子層沉積設備用于微納光學的實驗研究。其對前驅源脈沖時間需精確控制到0.015s，以TMA為例，其脈沖時間需短到0.015s；對膜厚均勻性的控制精確度較高，需達到<±1.5％，目前只有Veeco公司生產的原子層沉積能夠滿足上述要求。所以建議該兩臺設備以單一來源的方式進行采購。薛晨陽：此次山西大學擬購置的低溫顯微鏡用于低溫單量子體系量子相干動力學特性研究，可以保證樣品溫度可操控的同時，實現單量子體系熒光顯微成像和高信噪比熒光探測。該低溫顯微鏡是滿足量子相干測量和操控的核心實驗設備之一。目前該產品只有美國Montana Instruments公司可以提供。此次山西大學擬購置的原子層沉積設備將用于微納光學的實驗研究。其加熱部分從前驅源到管路，腔室，尾氣管路，粉末阱等各部件，只要前驅源能到達的地方都有加熱功能，避免前驅源的冷壁吸附造成顆粒，目前只有Veeco公司的該系列產品滿足這些需求。所以建議以單一來源方式采購該兩臺設備。